PL-R 辊压式纳米压印系统

Roll to Plate NIL System

PL-R 是一款高精度辊压式纳米压印系统,该系统采用高精度高压力辊对衬底样品进行贴合压印,保证整个压印过程的压力稳定性。同时该系统匹配了高精度双面对准系统,对准精度<5μm。

PL-R  主要针对AR表面浮雕光栅、DOE光学元器件等,

  1. 最大压印尺寸300mm(12in.)
  2. 最小分辨率<50nm
  3. 支持硅、石英、蓝宝石、氧化硅等衬底
  4. 双面对准精度:<5μm
  5. 紫外固化光源:UVLED面光源(365nm,光强>500mW/cm2)
  6. 设备洁净度:百级及以上