PL-SR步进式纳米压印系统

Step & Repeat NIL System

PL-SR是一款通用的重复步进纳米压印光刻系统，其具有高效压印、模板拼接功能的板对板式纳米压印系统。其采用独特的硬质衬底复合模板（Hybird Mold）技术，可最大程度消除颗粒以及缺陷；

  1. 最大拼接尺寸300mm(12in.)
  2. 最小模板尺寸20mmx20mm
  3. 支持硅、石英、蓝宝石、氧化硅等衬底
  4. 支持喷墨打印、旋涂方式步进式压印
  5. 紫外固化光源：UVLED面光源(365nm，光强>500mW/cm2)
  6. 设备洁净度：百级及以上
  7. 拼接精度：<1um
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