PL-R 辊压式纳米压印系统 Roll to Plate NIL System PL-R 是一款高精度辊压式纳米压印系统,该系统采用高精度高压力辊对衬底样品进行贴合压印,保证整个压印过程的压力稳定性。同时该系统匹配了高精度双面对准系统,对准精度<5μm。PL-R 主要针对AR表面浮雕光栅、DOE光学元器件等,最大压印尺寸300mm(12in.)最小分辨率<50nm支持硅、石英、蓝宝石、氧化硅等衬底双面对准精度:<5μm紫外固化光源:UVLED面光源(365nm,光强>500mW/cm2)设备洁净度:百级及以上 咨询报价 系统简介 设备规格 结果展示 系统简介 这是测试文本,单击 “编辑” 按钮更改此文本。 设备规格 结果展示 Tab Content